高中頻的震源震動影響，傳統上是采用挖槽，做隔離溝來有效的減少震動的影響，但是實際操作起來比較麻煩，效果也不是特別的有效，已經明顯不能滿足三坐標設備的精度，尤其是現在，三坐標精度提高，對低頻振動的影響越來越敏感。
現在減震器作為三坐標的隔振已經非常普遍。蔡司，海克斯康，文澤，思瑞等各種三坐標的減震措施種都可以看見減震器的使用。而且減震器的安裝非常的方便，免去了傳統隔振的繁瑣操作。
還有一些三坐標的使用廠家會選擇加普通的減震墊來做簡單的隔振處理，這種隔振措施在非常安靜的環境種或許可以達到設備的振動許可要求，但是，工廠內運輸車輛的走過，或物品的跌落，都會振動值都會超過三坐標的振動允許，造成測量的誤差，產生品次的誤判定。
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